Hálfleiðaraætingarbúnaður er sérstakur búnaður sem notaður er við ætingarferlið í hálfleiðaraferlum. Æsing er lykilferlisþrep í hálfleiðaravinnslu sem er notað til að búa til æskileg mannvirki, mynstur eða áferð á eða innan hálfleiðaraefna.
Hönnun og frammistaða ætingarbúnaðar fyrir hálfleiðara eru mikilvæg fyrir framleiðsluferli hálfleiðaratækja. Þeir þurfa að veita hárnákvæmni, hár-sérhæfni og mikilli einsleitni ætingaráhrif til að uppfylla kröfur hálfleiðaraferla.
Í hálfleiðara ætingarbúnaði innihalda algengar gúmmíþéttingarþéttingar eftirfarandi:
O-hringur: O-hringur er algeng hringlaga þversnið gúmmíþéttingarpakkning sem er mikið notuð í hálfleiðara ætingarbúnaði. Það hefur góða þéttingargetu og háhitaþol og er oft notað til að þétta píputengingar, flanstengingar, lokar og aðra íhluti.
Flat þétting: Flat þétting er flatlaga gúmmíþétting, venjulega úr kísillgúmmíi eða flúorgúmmíi. Það er oft notað fyrir flanstengingar í hálfleiðara ætingarbúnaði til að ná þéttingu með snertingu við flansyfirborðið.
U-laga þétting: U-laga þétting er U-laga gúmmíþétting í þversnið sem hentar fyrir sérstakar þéttingarþarfir. Það er oft notað til að þétta stimpla, stimpilstangir, strokka og aðra íhluti og hefur góða þéttingargetu og mótstöðu gegn aflögun þjöppunar.
V-laga þétting: V-laga þétting er V-laga gúmmíþétting í þversniði sem almennt er notuð fyrir lokar og snúnings bolþéttingar í hálfleiðara ætingarbúnaði. Það nær skilvirkri þéttingu með snertingu við þéttiyfirborðið og hefur góða þéttingargetu og slitþol.
Val á þessum gúmmíþéttingum fer eftir sérstökum þéttingarkröfum, rekstrarskilyrðum og eiginleikum fjölmiðla. Í hálfleiðara ætingarbúnaði þurfa þéttingarþéttingar að vera ónæmar fyrir háum hita, tæringu og efnum til að tryggja skilvirka þéttingu og langtímastöðugleika.
Algengt gúmmíefni eru kísillgúmmí, flúorgúmmí, nítrílgúmmí osfrv. Þegar þú velur viðeigandi gúmmíefni skaltu íhuga vinnsluhitastig, efnafræðilega eiginleika miðilsins og samhæfni við önnur efni.
Þegar gúmmíþéttingarþéttingar eru notaðar skaltu ganga úr skugga um að þær séu settar upp og pressaðar rétt til að ná góðum þéttingaráhrifum. Regluleg skoðun og skipti á þéttingarþéttingum eru einnig mikilvæg skref til að viðhalda frammistöðu og áreiðanleika hálfleiðara ætingarbúnaðar.
maq per Qat: hálfleiðara ets o hringur, Kína hálfleiðara ets o hring framleiðendur, birgja, verksmiðju
