Hálfleiðara tómarúmskerfi er einn af lykilbúnaði sem notaður er til að framleiða hálfleiðara tæki. Það er lokað kerfi í mjög hreinu, lágþrýstingsumhverfi til að meðhöndla og vinna úr hálfleiðaraefnum og tækjum.
Í hálfleiðara tómarúmskerfum eru afkastamikil gúmmíþéttingar oft notaðar vegna krafna um mikið hreinlæti og lágan lekahraða. Hér eru nokkrar algengar gerðir gúmmíþéttinga:
Viton (FPM) innsigli: Viton er efna- og háhitaþolið flúorteygjuefni sem er mikið notað í lofttæmiskerfi. Það hefur framúrskarandi háhitaþol, tæringarþol og lágt gas gegndræpi, sem gerir það hentugt fyrir þéttingarkröfur sem standast mikið lofttæmi og háhitaumhverfi.
Nítríl (NBR) innsigli: Nítríl er tilbúið gúmmí til almennra nota með góða olíu- og slitþol. Í hálfleiðara tómarúmskerfum eru nítrílþéttingar aðallega notaðar í sumum notkunum sem ekki eru háhitastig, ekki ætandi, svo sem lágt lofttæmi og gasleiðslutengingar.
Kísill (VMQ) innsigli: Sílíkon er háhitaþolið kísillgúmmí með góða mýkt og hitaþol. Það er oft notað í hálfleiðara tómarúmskerfi til að standast kröfur um þéttingu í háhitaumhverfi, svo sem hitameðferð, glæðingu og háhita gufuhreinsun.
EPDM innsigli: EPDM er etýlen própýlen gúmmí með góða oxunarþol, sýru- og basaþol. Í hálfleiðara tómarúmskerfum eru EPDM þéttingar oft notaðar í ekki háhita, ekki ætandi notkun eins og lágt lofttæmi og gasflutningsleiðslur.
Þessar gúmmíþéttingar hafa mismunandi eiginleika og notkunarsvið. Þegar hentugur innsigli er valinn þarf að hafa í huga þætti eins og vinnuskilyrði kerfisins, hitastig, miðlungs eiginleika og þrýstingskröfur. Að auki, til að tryggja þéttingarafköst, þarf framleiðslu- og uppsetningarferlið innsigla einnig að fylgja ströngum kröfum um ferli.
Í hálfleiðara tómarúmskerfum, auk gúmmíþéttinga, eru gúmmíþéttingar oft notaðar til að ná skilvirkri þéttingu. Hér eru nokkrar algengar gerðir gúmmíþéttinga:
O-hringur þétting: O-hringur er gúmmíþétting með hringlaga þversnið og er mikið notaður í hálfleiðara tómarúmskerfi. Það hefur góða þéttingargetu og þjöppunaraflögunargetu og getur lagað sig að mismunandi þéttingarkröfum, svo sem píputengingum, lokum, samskeytum osfrv.
Flat innsigli: Flat innsigli er flatt gúmmíþétti sem almennt er notað fyrir flanstengingar í hálfleiðara tómarúmskerfi. Það nær þéttingu með snertingu við flansyfirborðið og er venjulega gert úr háhita efnaþolnu gúmmíefni eins og Viton eða Silicone.
U-laga þétting: U-laga þétting er U-laga gúmmíþétting með þversniði sem hentar fyrir sérstakar þéttingarþarfir í hálfleiðara tómarúmskerfi. Það er oft notað til að þétta stimpla, stimpilstangir, strokka og aðra íhluti og hefur góða þéttingargetu og mótstöðu gegn aflögun þjöppunar.
V-laga þétting: V-laga þétting er V-laga gúmmíþétting í þversniði sem almennt er notuð fyrir lokar og snúningsskaftþéttingar í hálfleiðara tómarúmskerfum. Það nær skilvirkri þéttingu með snertingu við þéttiyfirborðið og hefur góða þéttingu og slitþol.
Val á þessum gúmmíþéttingum er ákvarðað út frá sérstökum þéttingarkröfum, vinnuskilyrðum og miðlunareiginleikum. Á sama tíma er efnisval þéttingarinnar einnig mjög mikilvægt. Oft notuð efni eru Viton, nítríl, kísill o.s.frv. Sértækt val ætti að taka tillit til þátta eins og hitastigssviðs, efnatæringarþols og gaslekahraða. Þegar þéttingin er sett upp skal huga að því að halda þéttiyfirborðinu hreinu og tryggja að þéttingin sé sett upp og þrýst rétt til að ná góðum þéttingaráhrifum.
maq per Qat: hálfleiðara tómarúm kerfi innsigli, Kína hálfleiðara tómarúm kerfi innsigli framleiðendur, birgja, verksmiðju
